ATM System

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ATM System NINEBELL
EFEM & Process Standard Robot
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  • Standard RobotPRODUCTS
  • NINEBELL

STD-Robot

• 대표특징
  • 1. Axis: 5~7Axis
  • 2. Arm Q`ty: 1~4 Arm 대응
  • 3. Arm: Slide Type
  • 4. Chemical 부식 방지 Coating 가능
  • 5. Wafer Grip: Edge, Vacuum, Pocket, Passive, Bernoulli 가능

HIZ-L Link Robot

• 대표특징
  • 1. Axis: 4~5Axis
  • 2. Arm Q`ty: 1~2 Arm 대응
  • 3. Arm: Link Type
  • 4. Chemical 부식 방지 Coating 가능
  • 5. Wafer Grip: Edge, Vacuum, Pocket, Passive, Bernoulli 가능

HIZ-L Slide Robot

• 대표특징
  • 1. Axis: 5~7Axis
  • 2. Arm Q`ty: 1~4 Arm 대응
  • 3. Arm: Slide Type
  • 4. Chemical 부식 방지 Coating 가능
  • 5. Wafer Grip: Edge, Vacuum, Pocket, Passive, Bernoulli 가능

HIZ-Slide Flipping Robot

• 대표특징
  • 1. Axis: 5~7Axis
  • 2. Arm Q`ty: 1~2 Arm 대응
  • 3. Arm: Slide Type
  • 4. Arm Flip가능
  • 5. Chemical 부식 방지 Coating 가능
  • 6. Wafer Grip: Edge, Vacuum, Pocket, Passive, Bernoulli 가능

HIZ-Slide Robot

• 대표특징
  • 1. Axis: 4~6Axis
  • 2. Arm Q`ty: 1~4 Arm 대응
  • 3. Arm: Slide Type
  • 4. Chemical 부식 방지 Coating 가능
  • 5. Wafer Grip: Edge, Vacuum, Pocket, Passive, Bernoulli 가능

HIZ-Link Robot

• 대표특징
  • 1. Axis: 4~5Axis
  • 2. Arm Q`ty: 1~2 Arm 대응
  • 3. Arm: Link Type
  • 4. Chemical 부식 방지 Coating 가능
  • 5. Wafer Grip: Edge, Vacuum, Pocket, Passive, Bernoulli 가능

HIZ-L Slide Robot

• 대표특징
  • 1. Axis: 4~7Axis
  • 2. Arm Q`ty: 1~4 Arm 대응
  • 3. Arm: Slide Type
  • 4. Chemical 부식 방지 Coating 가능
  • 5. Wafer Grip: Edge, Vacuum, Pocket, Passive, Bernoulli 가능

HIZ-L Slide Flipping Robot

• 대표특징
  • 1. Axis: 4~7Axis
  • 2. Arm Q`ty: 1~2 Arm 대응
  • 3. Arm: Slide Type
  • 4. Arm Flip 가능
  • 5. Chemical 부식 방지 Coating 가능
  • 6. Wafer Grip: Edge, Vacuum, Pocket, Passive, Bernoulli 가능

L Shuttle Robot

• 대표특징
  • 1. Axis: 4~6Axis
  • 2. Arm Q`ty: 1~4 Arm 대응
  • 3. Arm: Slide Type
  • 4. Chemical 부식 방지 Coating 가능
  • 5. Wafer Grip: Edge, Vacuum, Pocket, Passive, Bernoulli 가능
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