VTM System

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VTM System NINEBELL
300mm Loadlock & Vacuum Transfer Module (VTM) Scan Robot for 300mm Ion Implanter 300mm Vacuum Robot
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  • 300mm Vacuum RobotPRODUCTS
  • NINEBELL

300mm Vacuum Robot

• 적용분야
  • 1. 300mm Ion Implanter
  • 2. Vacuum Robot for High Vacuum Process
• 대표특징
  • 1. Ninebell’s Own Design for High Reliability using Dual DD Motors
  • 2. Reliable Motion Repeatability → Wafer Position Repeatability Error < ± 50㎛
  • 3. High Speed Robot
    → Takt Time of each Motion for GET or PUT < 2 sec.
  • 4. Supply to Major Implanter Company
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