VTM System

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VTM System NINEBELL
300mm Loadlock & Vacuum Transfer Module (VTM) Scan Robot for 300mm Ion Implanter 300mm Vacuum Robot
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  • Scan Robot for 300mm Ion ImplanterPRODUCTS
  • NINEBELL

Scan Robot for 300mm Ion Implanter

• 적용분야
  • 1. 300mm Ion Implanter
• 대표특징
  • 1. Ninebell’s Own Unique Design
  • 2. Horizontal Scalar Motion Scan
  • 3. High Angle ISO-Centric Scan
    → 0˚~55˚ Tilt ISO-Centric Scan Capability
    → Good Unif. at High Tilt Angle Ion Implantation even at Low Energy
  • 4. Precise Scan Angle Control → Scan Angle Variation < ±0.15˚
  • 5. Supply to Major Implanter Company
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