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ATM System NINEBELL
EFEM & Process Standard Robot
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  • EFEM & ProcessPRODUCTS
  • NINEBELL

EFEM

• 적용분야
  • 1. Wafer Load, Unload
  •  
  •  
• 대표특징
  • 1. 4PORT 대응
  • 2. Index Robot
  • 3. Z Stroke High 대응 가능

EFEM

• 적용분야
  • 1. Wafer Load, Unload
  •  
  •  
• 대표특징
  • 1. 3PORT 대응
  • 2. Index Robot
  • 3. Z Stroke High 대응 가능

8CH PROCESS

• 대표특징
  • 1. Process Robot 1set
  • 2. 8CH 대응
  • 3. Z Stroke High
  • 4. Buffer(Flip대응 가능) 1set

8~12CH PROCESS

• 대표특징
  • 1. Process Robot 2set
  • 2. 8~12CH 대응
  • 3. Buffer 4set(Flip대응 가능)

18CH PROCESS

• 대표특징
  • 1. Process Robot 3set
  • 2. Shuttle 1set
  • 3. Process Robot Z Stroke High
  • 4. Buffer 3set

회사소개

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Healthcare

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